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当前位置:中仿 » 公司产品 » 虚拟仿真 »FEMAG FEMAG/FZ
产品版本: FEMAG V15.1
适用平台: Linux,Windows
产品试用: 点击申请试用 FEMAG

FEMAG/FZ软件

        FEMAG/FZ是FEMAG专门用于模拟区熔法(Floating Zone process,FZ)生长工艺的软件。该软件可对区熔法生长的超纯单晶硅工艺过程进行模拟。超纯单晶硅广泛用于大功率器件、电力汽车、高铁等设备上。

FEMAG/FZ软件的主要功能及特色

  • 区熔法工艺条件设置
  • 熔区受力分析
  • 熔体全局热场计算
  • 准稳态与逆向动态模拟
  • 感应加热器设置
  • 各向异性热应力计算
  • 点缺陷浓度计算
  • 掺杂物组分传输计算

FEMAG/FZ软件的典型应用

        FEMAG/FZ软件的典型应用是模拟超纯单晶硅区熔法生长工艺过程。图2.12为100mm超纯单晶硅区熔法生长工艺准稳态模拟结果图(提拉速率为1mm/min),其中(a)为全局热场温度分布;(b)为熔体流动;(c)为磁场分布。

(a) 全局热场温度分布                              (c) 磁场分布

图2.12   100mm超纯单晶硅区熔法生长

 

        FEMAG/FZ软件用于模拟分析区熔法生长工艺过程。可以用于超纯硅晶区熔法生长过程的模拟。这些超纯晶体广泛用于大功率器件、电力汽车、高铁等设备上。

FEMAG/FZ软件的典型应用

        FEMAG/FZ软件的典型应用是模拟超纯单晶硅区熔法生长工艺过程。图2.12100mm超纯单晶硅区熔法生长工艺准稳态模拟结果图(提拉速率为1mm/min),其中(a)为全局热场温度分布;(b)为熔体流动;(c)为磁场分布。

(a) 全局热场温度分布                              (c) 磁场分布

图2.12   100mm超纯单晶硅区熔法生长