FEMAG/FZ软件

        FEMAG/FZ是FEMAG专门用于模拟区熔法（Floating Zone process，FZ）生长工艺的软件。该软件可对区熔法生长的超纯单晶硅工艺过程进行模拟。超纯单晶硅广泛用于大功率器件、电力汽车、高铁等设备上。

FEMAG/FZ软件的主要功能及特色

• 区熔法工艺条件设置
• 熔区受力分析
• 熔体全局热场计算
• 准稳态与逆向动态模拟
• 感应加热器设置
• 各向异性热应力计算
• 点缺陷浓度计算
• 掺杂物组分传输计算

FEMAG/FZ软件的典型应用

        FEMAG/FZ软件的典型应用是模拟超纯单晶硅区熔法生长工艺过程。图2.12为100mm超纯单晶硅区熔法生长工艺准稳态模拟结果图（提拉速率为1mm/min），其中（a）为全局热场温度分布；（b）为熔体流动；（c）为磁场分布。

(a) 全局热场温度分布                              (c) 磁场分布

图2.12   100mm超纯单晶硅区熔法生长

 

FEMAG/FZ软件的典型应用

        FEMAG/FZ软件的典型应用是模拟超纯单晶硅区熔法生长工艺过程。图2.12为100mm超纯单晶硅区熔法生长工艺准稳态模拟结果图（提拉速率为1mm/min），其中（a）为全局热场温度分布；（b）为熔体流动；（c）为磁场分布。

(a) 全局热场温度分布                              (c) 磁场分布

图2.12   100mm超纯单晶硅区熔法生长