FEMAG/VB软件

        FEMAG/VB是FEMAG专门用于模拟垂直布里奇曼法（Vertical Bridgman process，VB）与垂直梯度凝固法（Vertical Gradient Freeze process，VGF）晶体生长工艺的软件。该软件可对CdTe、GaAs等晶体的VB/VGF法生长过程进行仿真分析。

FEMAG/VB软件的主要功能及特色

• 炉体全局热场计算
• 准稳态和动态模拟
• 熔体流场计算
• 辐射传热计算
• 固液界面形状计算
• 不同冷却模式的灵活选择
• 熔体、晶体中组分扩散与传质计算
• 加热器、隔热罩等熔炉组件对生长环境的影响分析

FEMAG/VB软件的典型应用

        FEMAG/VB软件的典型应用是模拟GaAs晶体VGF法生长的工艺过程。GaAs晶体。利用FEMAG/VB软件准稳态模型模拟3Kg GaAs晶体VGF法生长过程的结果。

砷化镓单晶                    砷化镓VB法生长过程模拟

        利用FEMAG/VB软件分析直径80mm晶体生长时的热场、加热功率以及热应力结果。（生长速率3mm/h、加热器3个、每步计算晶体长度增加50mm）。

 直径80mm晶体生长模拟

 

 FEMAG/VB软件的典型应用

        FEMAG/VB软件的典型应用是模拟GaAs晶体VGF法生长的工艺过程。GaAs晶体。利用FEMAG/VB软件准稳态模型模拟3Kg GaAs晶体VGF法生长过程的结果。

砷化镓单晶                    砷化镓VB法生长过程模拟

        利用FEMAG/VB软件分析直径80mm晶体生长时的热场、加热功率以及热应力结果。（生长速率3mm/h、加热器3个、每步计算晶体长度增加50mm）。

 直径80mm晶体生长模拟